euv光刻机干嘛用的
市场营销 / 2024-12-11
EUV光刻机:一种重要的半导体制造工具 1. EUV光刻机是一种用于半导体制造的工具,它利用极紫外(EUV)光源在硅片上刻画微细图案。EUV光刻机的出现,使得半导体制造技术得以向更小的尺寸迈进,从而推动了计算机、通信、医疗等领域的快速发展。 2. EUV光源 EUV光刻机的核心是EUV光源,它是一种高能量、高频率的光源。EUV光源的产生需要使用离子化的锗或锡,经过多次反射和放大,最终形成波长为13.5纳米的EUV光。EUV光源的研发一直是EUV光刻机制造商的重点,目前市场上的EUV光刻机主要使